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FFU过滤单元具备的特点

 
**:灵活性。

因为FFU过滤单元是自带动力的,它不受区域的限制。在一个偌大的洁净厂房里,可根据需要,分区控制。而且,随着半导体生产工艺的变化,厂房布局必然要作相应调整,FFU的灵活性使得这样的调整变得轻松,而且不会带来二次投资。

第二:可再利用性。

从理论上讲,一时不用的FFU设备,可以拆下来,密封好,妥善保管,留待下次使用。

第三:负压通风。

这是FFU过滤单元的独特特点。由于它本身能够提供静压,使得送风静压箱相对于洁净厂房负压。这样,静压箱内的颗粒就不会受到压力的作用泄漏到洁净区里,使得密封变得很简单而且安全。

第四:缩短建设周期。

使用FFU省掉了风管的制作和安装,因为风管在洁净工程中,占掉很大的建设周期,任何一个投资者都希望投资能尽快带来收益,选用FFU成为了一种可能。

第五:减少运行成本。

虽然在选用FFU时,初期投资要比使用风管通风高,但它在后期运行中,突出的表现出节能、免维护等特点。







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